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2012年6月14日 (木)

書籍『フォトレジスト材料の評価』のご紹介!

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◆本日ご紹介書籍◆

      『フォトレジスト材料の評価』
 -ノボラックレジストから最新EUVレジストまで-

  http://www.tic-co.com/books/12ste003.html

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近くの空き地で木造家屋の新築工事が始まりました

マンションのベランダから見ていると、地ならし、基礎固めをした翌日には、
何本かの柱が打ちたてられ、筋交い、壁板、床板、屋根と次々に立ちあがっていきます。

壁をぺたっ、ぺたっと貼り付けるのでなく、電気釘打ちでもなく、
金槌でトントンと板を打ちつけている小気味良い音が風に乗って聞こえてきます

梅雨入り前に、外観を仕上げ、今は建物内の立てつけ工事に取り掛かっているのか
幕が張られていて外からはうかがい知れません。

人さまの家ながら、いつ完成なのか、またどんな人が住むのか楽しみです

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さて本日も書籍

      『フォトレジスト材料の評価』
 -ノボラックレジストから最新EUVレジストまで-

                                 のご紹介です

●好評につき改訂版完成!
●感光性樹脂・原材料の研究開発、配合、使用、製造、品質管理にかかわる方にお薦め!

主な目次はこちら↓

第1章 リソグラフィーの概要

第2章 フォトレジストの塗布

 1 フォトレジスト塗布装置の概要
 2 スピン塗布プロセスの実際
 3 HMDS処理
 4 プリベーク
 5 膜厚の評価

第3章 露光技術
 1 露光装置の概要
 2 露光技術
 3 フォトレジストの感光の原理とABCパラメータ

第4章 露光後ベーク(PEB)と現像
 1 露光後ベークの概要
 2 PEBにおける感光剤の熱分解
 3 PEBによる感光剤の拡散長の測定
 4 表面難溶化パラメータの推算とその評価
 5 現像技術の概要

第5章 g線、i線レジスト(ノボラックレジスト)の評価技術
 1 ノボラックレジストの概要
 2 リソグラフィー・シミュレーションによるノボラックレジストの材料評価
 3 シミュレータを用いたプロセスの最適化

第6章 KrF・ArF用フォトレジストの評価技術
 1 KrF露光用レジストの概要
 2 化学増幅レジストの脱保護反応の解析
 3 露光中のレジストからのアウトガスの分析
 4 ArF露光用レジストの概要
 5 FT-IRによるPAGからの酸発生反応の観察
 6 ArF露光用レジストからの露光中のアウトガス分析
 7 現像中のフォトレジストの膨潤解析
 8 クマリン添加法によるPAGからの酸発生反応の観察

第7章 ArF液浸レジスト・ダブルパターニング(DP)プロセスの評価技術
 1 ArF液浸露光技術
 2 液浸露光プロセスの評価(1) レジスト膜への水の浸透と感度変化
 3 液浸露光プロセスの評価(2) リーチングの評価
 4 液浸DP露光技術

第8章 EUVレジストの評価技術
 1 EUV露光技術
 2 リソグラフィ・シミュレータを用いたEUVレジストの評価
 3 EUVレジストの脱保護反応の解析
 4 EUVレジストのアウトガスの評価

第9章 ナノインプリント・プロセスの最適化とその評価
 1 NIL用光硬化樹脂を用いたナノインプリントの最適化と評価
 2 NIL用光・熱硬化樹脂を用いたナノインプリントの最適化と評価
 3 離型プロセスを不要とするレプリカ転写技術-プロセス条件の検討
 4 ナノマイクロ混在構造の一括転写技術

詳しくはこちらから↓

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      『フォトレジスト材料の評価』
 -ノボラックレジストから最新EUVレジストまで-

  http://www.tic-co.com/books/12ste003.html

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木曜担当、笠城でした

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